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Interview  访谈



                 不断开发 CO 激光器唯我独行的新应用
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                 ——访美国大通激光总经理张永方博士


                 文/ Rossie Pang



                 众       所周知,近年来光纤激光               工作的。类似这样的只能用 CO 2 激光             突破的一项
                         器的迅猛发展,正在不断
                                                   器才能实现的应用,还有很多,“目前
                                                                                    全新的应
                         蚕食着 CO 2 激光器的市场           我们主要侧重的市场就是其他激光器                 用。” 张 永
                 份额,特别是在金属加工领域,几年                  做不了、只能用 CO 2 激光器才能实现             方博士说,
                 之间,CO 2 激光器的主力军地位已不               的应用。”张永方博士说道,“除了市
                                                                                   “我们最新
                 复存在。在光纤激光器、碟片激光器、 场上已有的一些传统应用外,我们也
                                                                                    的 HPP 超
                 半导体激光器等产品开始大行其道的                  在不断开发一些前所未有的新应用。”
                                                                                    高脉冲激光
                 当下,CO 2 激光器仿佛正在开始退出                  他重点介绍了 CO 2 激光器的三种
                                                                                    器就是专门
                 历史舞台。                             新应用。第一种是光纤激光器的制造。
                                                                                    针对这个        美国大通激光总经理张永方博士
                     那么,CO 2 激光器这种古老的激             虽然光纤激光器从 CO 2 激光器手中抢
                                                                                    应用市场的”。用激光实施牙科软
                 光技术,真的到了要“退休”的时候                  走了大量市场,但是现在 CO 2 激光器
                                                                                    组织手术早已实现,但是要用激光
                 了吗?事实并非如此。                        能够参与到光纤激光器的制造过程中,
                    “事实上,CO 2 激光器的应用市              那么它同样也能从光纤激光器市场的                 取代牙医的钻头在牙齿的硬组织上
                 场并不是越来越小,而是越来越大。” 增长中受益。张博士介绍说,大功率                                 钻洞,却一直是个难题。这类应用
                 在今年的慕尼黑上海光博会上,美                   的光纤激光器,对光纤纯度要求极其                 首先要求的是 9.3μm 和 9.6μm 的
                 国大通激光公司总经理张永方博士说                  苛刻,用传统的火焰方法加工光纤,                 特殊波长,同时又要求脉冲上升下
                 道,“不可否认,光纤激光器的发展                  可能会带入一些杂质到光纤中,因此                 降非常快,而激光与牙齿作用的时
                 的确对 CO 2 激光器的一些应用市场带              现在很多客户用 CO 2 激光器来加工光             间又不能太短。“现在我们最新的
                 来了巨大冲击,但同样不可否认的是, 纤激光器中的零件,如拉光纤、光纤                                 HPP 超高脉冲激光器已经能够很好
                 市场上依然有很多应用是其他类型的                  连接器等。这对 CO 2 激光器的波长和             地满足牙齿硬组织的手术需求。这
                                                   功率等参数的稳定性要求都是极高的。
                 激光器所不能胜任的,只能使用 CO 2
                                                                                    款产品将有望为医科治疗带来革命
                 激光器,比如一些非金属加工应用 ;                    第二种应用是产生极紫外光。在
                                                                                    性的变化,很显然这是一个非常具
                 与此同时,CO 2 激光器也在不断开辟               半导体制造工艺中的光刻环节,过去
                                                                                    有潜力的巨大市场。”
                 出前所未有的新应用。”                       几十年大多数是通过波长 100 多纳米
                                                                                        大通激光专注于 CO 激光器已
                                                                                                          2
                     CO 2 激光器本身独特的波长,使             的深紫外激光实现的,但是随着摩尔
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                 它成为加工一些非金属材料的不二选                  定律的发展,芯片上需要刻划的电
                                                                                    若干不同的技术来实现波长、功率、
                 择。一个最简单的应用案例是饮料瓶                  路越来越多,要求的精细度越来越
                                                                                    频率等参数的稳定性,同时我们还
                 上生产日期等信息的打码,过去这些                  高,这需要波长 10 纳米左右的激光
                 信息通常是用油墨印刷到饮料瓶上, 来完成这项任务。“所以客户就用我                                  能实现除了 10.6μm 之外的一些特
                 这种方式既不环保,成本又高,而现                  们的 CO 2 激光器生成等离子体来产生             殊波长,这些是我们的核心优势。”
                 在这些信息的打码则越来越多地使用                  13.5nm 的极紫外光。”                   张永方博士说。激烈甚至残酷的市
                 CO 2 激光器来实现,清洁环保,没有油                 还有一种新应用是牙科手术。                 场竞争,让 CO 激光器重新在市场
                                                                                                  2
                 墨消耗。光纤激光器是无法胜任这项 “这也是我们经过两年的研究刚刚                                   上看到了新的曙光。


                 38 May/ Jun  2017                                        www.laserfocusworld.com.cn    Laser Focus World China   激光世界
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