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封面故事 Cover Story
黄金
FBG写入相位掩膜板示意图
标准
相位掩膜板 入射的紫外准分子激光束
光敏纤芯
熔覆
光纤
衍射级 衍射级
干涉图形
精密
成品FBG
纤芯折射率的周期性调制 制造
图 5：相位掩膜板刻写FBG的方法和结果示意图。
械应力的变化会引起光栅周期或有效折射率的变化，这一
变化又会改变 FBG 反射光谱的中心波长。 铟泰公司的先进技术为
FBG 的制造有赖于大部分光纤的纤芯掺有锗（为了
客户提供更薄更平整的
增加折射率系数）并且对紫外（UV）光具有光敏性。因此，
紫外光可以引起折射率系数永久改变。 金基预成型焊片：
在实践中，生产 FBG 的途径是让准分子激光器穿过
• 空洞率低
相位掩膜板（实质是衍射光栅）。这会形成条纹间隔具有
所需光栅周期的干涉图形。光纤置于此图形下曝光，纤芯
• 提高热传导率
的折射率系数产生永久的周期性改变。
准分子激光器是 FBG 生产的最常用光源，输出波长 • 降低贴片机出错率
通常为 248nm 或 193nm。它们提供的输出功率非常高，可
• 包装适用于大规模生产
以让 FBG 的曝光时间持续数秒到数分钟不等。使用这些
激光器，甚至还可以将 FBG 生产集成到光纤拉丝过程中。
结论 解决方案灵活 精密制造 宽高比
准分子激光器可用于多个半导体显微光刻领域，被广 挑战性宽高比
泛用于智能手机中的集成电路，智能手机、平板电脑的显
gold@indium.com
示屏制程，宽带通信所用光纤内的 FBG 刻写术，每年帮
助超过一百万人改善视力的 LASIK（激光辅助原位角膜
磨镶术）。这项技术已经获得广泛应用，即使已经出现 40
年，准分子激光技术仍在不断改进和提高。我们非常看好
准分子激光器的前景。 ©2018 Indium Corporation
激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Mar/ Apr 2018 17
