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封面故事 Cover Story
极 管（AMOLED） 的 智能 手 相干公司（及其前身 Lambda Physik）一 激光剥离技术
机。这两种显示屏技术所用的 直是 ELA 领域的开拓者。 在智能手表、智能手机和其他便
背板均包含一块玻璃基板。大 这种成功得益于在高功率准分子激光 携式微电子产品的生产中，柔性显示
量薄膜晶体管（TFT）在这块 器技术和紫外光学系统方面均取得了显著 屏变得越来越不可或缺。但是，由于
玻璃基板上由一层硅薄膜光刻 的技术进步，因此产生了高脉冲能量和能 柔性显示屏中使用的薄塑料基板过于
成型。 量分布均匀的线型光斑——这也正是实现 柔软，无法使用常规工具处理。因此，
利用大面积 CVD 沉积可生 大尺寸显示屏均匀退火的必要条件。 显示屏电路通常需要预先放置到涂有
成非晶硅（a-Si）。通过将非晶
硅薄膜转换成多晶硅（poly-Si），
可以提高电子迁移率，从而让
微小的 TFT 具备卓越的电气特
性，进而降低显示屏功耗并提
高分辨率。
非晶硅层通过准分子激光
退火（ELA）的工艺流程，转
换（转变）成多晶硅。具体来说，
就是使用准分子激光器的脉冲
光束对非晶硅膜进行扫描（非
晶硅膜可有效吸收准分子激光
器输出的波长为 308nm 的激光
能量）。非晶硅膜的这种高效吸
收特性，再加上准分子激光器
的高脉冲能量，不仅让非晶硅
有效熔化，还能有效防止紫外
光渗透至基板内部，从而避免
了热应力，让使用经济的玻璃
材料来制造基板成为现实。
生产作业在大面积玻璃板
（例如 Gen 6，1.5m×1.8m）上
进行，随后再将大面积玻璃板
切割成大量单独的显示屏。在
ELA 系统中，准分子激光器的
矩形光斑经过整形匀化处理，
形成能量分布均匀的细长光束 借助 Jenoptik 的智能解决方案打造您的未
（其长度通常等于玻璃板宽度， 来产品。共享卓越
或玻璃板宽度的一半）。激光束 Jenoptik 将激光器、光学器件和光电子技术领域的核心技术相结合，
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