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Cover Story 封面故事
准分子激光器
准分子激光器应用呈现多样化发展趋势
文/Ludolf Herbst，Coherent Laser Systems GmbH 产品线经理
世 界上首台商用准分子激光 准分子激光器光束 的输出特性。另外一个重
要原因则是，激光器生产
器由 Lambda Physik（现隶
属相干公司）于 40 年前推 商极大改善了准分子激光
a-Si poly-Si
出。虽然此后出现了众多其他激光技 器的服务特性、并降低了
术（例如半导体泵浦固体激光器和光 它的总拥有（使用）成本，
纤激光器），但是准分子激光器从未 让准分子激光器与其他激
退市。实际情况恰恰相反，准分子激 光和非激光技术相比更有
光器的应用范围呈现不断扩大并向多 竞争力。
样化发展的趋势。可以说，如今很少 基板
有其他激光技术对我们日常生活的影 平移 显示屏制造
图 1：ELA 工艺示意图。
响能超过准分子激光器。下面，我们 使用准分子激光器
将集中介绍准分子激光器的特性及其 从实践（实用）角度看，准分子 进行激光退火，可以满足几乎所
主要应用。 激光器能在市场上拓展其应用范围， 有 高 端智 能 手 机 的 显 示屏 制 造，
一方面是因为制造商花费大量精力， 尤其是基于有源矩阵液晶显示屏
独特的激光输出特性带来独 根据特定应用，定制了准分子激光器 （AMLCD）和有源矩阵有机发光二
特优势
准分子激光器以独特方式将深
紫外（UV）波长输出与高脉冲能量
结合在一起 ；实现这种结合是其得
到广泛应用的关键所在。因为这种
特性组合，目前尚无任何其他技术
能挑战准分子激光器在市场应用中
的地位。在材料加工领域，短波长
能够以极高分辨率实现极微小特征
的加工 ；这是因为（基于衍射原理，
光学分辨率与激光波长成反比）衍
射的物理原理定义了光学分辨率与
波长间的直接比例关系。高脉冲能
量结合高重复频率，在保证高产能
的同时缩短了生产时间（生产单位
图 2：相干公司的 LineBeam 1000/TwinVYPER 系统是当今制造高分辨率 LCD 和 AMOLED 手机显示屏的标配
产品所需的总时间）。 设备。
14 Mar/ Apr 2018 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
