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应用天地 Applications
Glass Cut-Out Injector Holes Stent Lattice
图3：使用飞秒激光器制造的成品零件包括OLED面板、燃料喷射器喷嘴和冠状动脉支架。
工业级飞秒微加工平台 现真正的无热微加工，精度在 1 微 是制造速度。与允许同时加工多个零
2011 年，Microlution 公司推出 米之内，重复性在亚微米之内。飞 件的诸如冲孔、冲压和压花等大批量
了能够支持工业用途的飞秒激光微加 秒激光微加工已经在汽车、医疗器 加工工艺相比，激光加工是一种串行
工平台。该平台被命名为 ML-5，具 械、半导体和消费品制造领域得到 加工过程。
有 5 轴激光扫描头、精密研磨的天然 应用。 飞秒激光加工技术的另一个限制
花岗岩基座、无铁直线电机、海德汉 是，在加工过程中，它通常一次仅可
玻璃度盘和托盘式卡具，能够提供微 灵活的量产解决方案 以移除少量材料。因此，要使用飞秒
型加工所需的精度。 对于批量生产而言，飞秒激光器 激光加工较大的特征时，加工速度会
现在，飞秒激光器已经能够实 （以及其他激光器）的一个潜在缺点 非常慢。
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