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紫外激光器
相干面向大批量微加工应用的130W 紫外激光器
材料来源：Coherent           录入时间：2011-7-5 9:38:19

相干公司的LEAP准分子激光器系列工作在248nm和308nm波长时，平均输出功率可达130W，连续免维护运转超过3亿个脉冲或5000小时的过程中，始终保持卓越的光束质量和无以伦比的输出能量稳定性（典型值为0.5 %, rms）。LEAP准分子激光器系列高端的、适用于大批量生产的特性源于最新的半导体开关管技术的应用，在数十亿激光脉冲的运行中，可获得显著平滑、有效的气体放电，从而使生产商在大批量生产过程中获得最高的生产效率。LEAP是通过脉冲激光沉积的方法获得超导陶瓷薄膜、快速金属和聚合物处理以及垂直结构高亮度LED有效激光剥离处理的有力激光工具。

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