具有高分辨率、直线度和重复性的新型 QNP-XY 平台可提供更高的产能

Aerotech (www.aerotech.com) 现已推出一个新系列的 XY 压电纳米定位器，用于精度要求 极高的场合。据该公司报告称，QNP-XY 平台以与其它类似的尺寸和行程范围的定位器相比 具有最高的谐振频率和刚度，使用户能够在严格的加工过程中实现更高的产能。

该平台具有 0.15 nm 的分辨率，0.007% 的直线度和 2 nm 的重复，能够满足从显微镜到光学对准等最严苛的应用需求。其行程范围从 100 µm 到 600 µm。

QNP 压电平台由无摩擦柔性铰链导向，用有限元分析法进行优化来实现快 速闭合环路响应。这种集成式 XY 组合平台使整体高度和运动质量都达 到最小，因而具有优异的静态和动态多轴性能。

如果与 Aerotech 的 Q 系列控制器和驱动器一起使用，该平台可具有亚纳 米级定位精度和定位稳定度及高定位带宽，无论是否带有电容感测器反馈都具备上述性能，并且具有众多软件选项。

Aerotech 是领先全球的定位和运动控制产品供应商，其服务对象包括工业、 政府、科研和研究机构。其产品为那些对于高定位精度、高产能运动控制解决方案有着苛刻要求的应用场合提升了显著的性能指标。

应用包括：

l  测试与检测

l  工业与科研

l  实验室

l  纳米技术

l  显微镜

l  半导体

l  微电子

l  光学

l  光电

l  数据存储

l  精密机械

l  金属

l  生命科学

l  医疗器械