近日，上海复享光学股份有限公司（以下简称“复享光学”）完成超亿元C轮融资，此次融资由深创投和浑璞投资联合领投。本轮融资将助力公司加速产品创新进程，增强研发服务能力，在科研创新、先进制造和光子集成等广泛领域构建起更为深度的应用解决方案。

自成立以来，复享光学持续关注光子技术前沿，积极探索光谱技术的应用场景：第一个国产化全谱段光纤光谱仪，首创动量空间光谱分析技术，率先提出模块化显微共焦拉曼光谱系统构型，开辟角分辨光谱仪和相位反演光场检测产品的新品类。

2023年，在头部晶圆厂和半导体设备厂的鼎力支持下，复享光学基于在微纳光子学量检测领域超过十年的经验积累，聚力完成了ZURO-ND新产品的迭代，在原有基础上提高了近10倍的检出限。这使得我们可以有效地监控高深宽比、低开口率等刻蚀场景下的极弱元素特征光谱线。通过与国外标杆产品的测试比较，客户一致认为复享光学的终点检测方案能够实现对国外同类产品的国产替代，在个别参数上实现超越。

此外，复享光学考虑中国用户的实际需求，升级了ideaEPD软件架构，使系统具备更智能的终点判断算法、更强大的配置文件、更丰富的历史数据分析功能和更便捷的操作体验。这些改进使得我们能够满足终端客户多种多样的使用需求。

目前，复享光学已经为多家半导体头部客户提供了优质服务，截止到今年7月，完成了50000片以上的wafer数据验证。面向真实产业需求，复享光学有能力为设备客户提供达到全球领先水平的EPD解决方案。

更为重要的是，通过结合多维光场的感知与关键物质特性的计算重构，再融合先进的深度学习技术，复享光学构建起AI时代的全面深度光谱分析框架，为诸多先进制造应用场景提供了强劲的光学分析引擎。目前公司年产值超亿元，拥有一支博士占比达25%的逾百人的技术团队。

文章来源：中科创星

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