近日，由合肥脉博光电科技有限公司（以下简称“脉博光电”）研制的国产化锗声光调制器取得重大技术突破，衍射效率超过92%，通光功率超过500 W。该产品已成功通过用户端严格测试，完成产业化并量产出货，打破国外垄断。

该声光调制器具有高功率、高损伤阈值、高透过率、高衍射效率的特点，对极紫外光刻应用中的CO₂激光的控制有积极意义，可显著提高OLED等显示面板行业的激光加工精度，对汽车、电子、照明和包装等行业的薄膜类材料激光加工也有助力。

产品主要指标

工作波长：9.6 μm

透 过 率：>93%

光 偏 振：线偏振，平行于底座

有效孔径：8 mm

工作频率：40.68 MHz

衍射效率：>85%

布拉格角：35.5 mrad

分 离 角：71 mrad

上升时间：118 ns @ 1 mm

（工作波长9.4~10.6 μm可选）

脉博光电是一家专门从事声光、电光、磁光调制器和光学仪器的开发和制造的技术型公司，专注于对光的精密控制和应用。公司研制的多款声光调制器、声光偏转器、声光移频器、普克尔盒、相位调制器、光弹调制器等均受到业内头部企业的关注。在集成电路、平板显示、LED、太阳能电池等泛半导体制程均有广泛应用。

文章来源： 脉博光电

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