镀膜设备为什么要定期清洗？

在真空镀膜设备中，腔体内部的构件在镀膜工作运行一段时间后，表面累计的膜层会越来越厚，膜层本身的应力变大，同时不同时间段沉积的膜层之间有黏附性问题，将导致构件表面膜层很容易脱落，在镀膜工艺中会对样品表面产生很大污染，从而极大影响镀膜良品率。因而必须定期对腔体内部构件进行清洗。镀膜设备的清洗对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用，可大大提高真空系统中所有器壁和其他组件表面在各工作条件下的稳定性。

镀膜设备内部需清洗的构件包括腔体内壁、离子源栅网、公转支架及加热丝等。

传统清洗的方式和弊端

1.喷砂处理。由于是真空电子束高温蒸镀的氧化物介质膜，膜层硬度较高，常用的砂纸打磨方法不但耗时耗力，而且清洁效果不好。如果仅用喷砂处理，由于铝合金表面硬度不高，沙粒在喷砂过程中会嵌入样品表面，不能清除干净，这些沙砾在镀膜过程中由于构件高速旋转而脱落，会影响镀膜的良品率。

2.电化学清洗及电抛光和超声波清洗方法。不仅需要拆卸镀膜机内零件，耗费大量时间精力，同时拆装过程也有不可避免的污染，而且需要消耗一定的清洗材料，尤其是清洗体积大的物件时，及其不便。

3.人工手持激光清洗。通过手持激光清洗头对镀膜机内各个角落手动清洗，但长时间使用这种清洗方式不仅会让操作者吸入激光清洗出的污染物，而且清洗大件物体时，手持焦点稳不住，影响清洗效果及效率，且劳动强度大。

因而开发一种合理的清洗方法，尤其是对不可拆卸的镀膜机内部主体面、功能结构部件面的清洗，如何降低劳动强度，清洗更加便捷，提高清洗质量和效率，一直是镀膜机日常维护保养的短板痛点。

镀膜设备激光清洗机概述

波长光电镀膜设备清洗机是针对镀膜机内清洗工作专门开发的，使用激光对镀膜机内部及构件进行清洗。系统包括镀膜清洗头、系统支架、机器人安装架、协作机器人、机器人底座、3D视觉相机、脉冲光纤激光器、控制箱、操作主机、冷水机、光纤托架、气源装置和电动平衡车，适用于镀膜机内多角度、全方位的清洗，无需拆装镀膜机，有效克服了现有方法效率低、污染大、不适于大体积清洗等问题。

镀膜设备激光清洗机的优势

1.专门设计镀膜机内激光清洗头，集成气体保护与清洗除尘吸出及定焦机构。减少镜头维护保障清洗稳定工作。

2.综合设备配置，设计专门的电器控制系统，协调控制机器人、激光测距自动跟踪、激光清洗头正常工作、配置相应的感应检测与控制，确保系统安全工作。对不同清洗区域设置各自的清洗路径，建立对应的操作文件库。实现远程控制自动清洗。

3.激光测距自动跟踪清洗激光的工作距离，保证清洗效果的一致性，提升清洗质量。

4.配置粉尘吸附清除过滤机，保证环保排放。设计围挡隔绝粉尘飞扬环境，进一步提高环保安全。

5.配置水冷机保障激光器稳定长时间工作。

6.配置随动监控相机，监督检查清洗质量并作相应的截图保存以备清洗品质的溯源。

7.整体轻量化设计，结构紧凑，配备电动平衡车，移动方便灵活。

“智能清洗”助力打造智慧工厂

镀膜设备激光清洗机，均非接触式、无耗材、无添加污染、控制精度高、无损伤或损伤小等特点，自动化清洗作业，高效稳定。清洗头的设计实现了轻量化、吹气保护结构集成、粉尘吸除等优点。采用6轴协作机器人，可实现长时间自动清洗作业，避免对大型镀膜机内部人工手持清洗的不稳定性，同时机器人工作范围可控，保障了工作人员的安全。此外，使用3D视觉机器人对清洗系统的工作焦点进行自动追踪，可进行自动避撞的引导控制，同时可引导系统支架与镀膜机之间的具体初始位置调整，实时监控到工作过程，提高了清洗机自动化的效率和准确性。助力打造智能化镀膜车间，提质增效。

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