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炬光科技固体激光剥离线光斑系统首次完成国内生产交付
材料来源: 炬光科技          

柔性屏(OLED)凭借其绚丽的色彩,已经占领了智能手表、智能手机、平板电脑、笔记本电脑等市场,尤其是逐渐流行的折叠手机应用。在这一趋势的影响下,各种尺寸的OLED生产工艺都取得了显著的进展。除了扩大显示屏尺寸和产量之外,提高产能的呼声也越来越大,作为OLED生产中不可或缺的激光剥离制程(LLO)备受关注。

炬光科技拥有全球领先的固体激光剥离线光斑技术,该系统已向中国、韩国及日本市场累计出货十余套,终端使用客户均为全球前五的知名OLED面板生产商。近日,炬光科技光学系统事业部完成了该系统在国内的首次生产调试,并顺利交付客户。

炬光科技固体激光线光斑系统采用公司自主知识产权的固体激光光学整形及匀化技术,可实现超高斯分布,并达到97%以上的光斑能量分布均匀性和超过±400μm的焦深,从而提升工艺对基板表面粗糙度及运动平台平整度的容忍度,降低设备集成的难度,且工艺效果更好。公司通过提升光学设计和微透镜加工能力,实现85%以上的通光效率,提高固体激光光源的能量利用效率。

炬光科技的固体激光剥离线光斑系统经客户测试验证,既可用于黄色PI膜的激光剥离,又可实现透明PI(CPI膜)的良好剥离。

产品特点

  • 线长:最大1000mm
  • 线宽:20-40μm可调
  • 光斑均匀性:≥97%
  • 景深:±420μm
  • 超高斯光斑,LLO产能提升30%

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