在碳化硅产业高速发展的背景下，海目星子公司海目芯微持续推进技术创新，继实现8英寸碳化硅长晶工艺将缺陷率控制在稳定值以下后，近期再获重大进展——成功研制出直径12英寸的碳化硅单晶晶锭，标志着公司在6、 8、12英寸全尺寸长晶技术链上实现了全面自主可控。

*12英寸碳化硅单晶晶锭

海目芯微在实现8英寸晶体生长工艺稳定可控后，通过提升热场寿命、降低功耗，使长晶成本大幅降低。衬底尺寸的提升是推动产业规模化与成本控制的关键环节。同时，公司迅速聚焦于更大尺寸晶体生长技术的研发，通过对热场设计、分压、温度控制及生长工艺等关键环节的技术迭代，成功突破12英寸的生长技术瓶颈。

12英寸碳化硅晶体生长，其在晶体内部的热梯度和径向温度场更加复杂，内应力增加将严重制约大尺寸、高质量SiC单晶的制备。海目芯微依托自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺技术，通过创新性温场设计与晶体完整性控制迭代，有效保障了大尺寸晶体的稳定生长。本次制备的晶锭结晶质量优异、结构完整，充分展现了公司在核心技术与工艺上的双重突破。

*电阻式碳化硅长晶炉（前开门、上开盖）

此次技术突破是海目芯微在碳化硅领域持续投入的成果体现，展现了公司在技术创新和产业化推进方面的坚定步伐。海目芯微将针对长晶、衬底加工等核心痛点，突破技术壁垒，以持续的技术创新构建核心竞争力，推动企业持续发展。

转自：海目星激光

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