成果介绍

由于玻璃、蓝宝石等硬脆材料卓越的物理性能和化学稳定性等优点被广泛应用于消费电子、电子仪器设备等，因此在过去几十年对于硬脆材料的高精度和高质量的新型加工方式也备受关注。

在众多加工方式中，激光加工已经被证明是一种高效、简便的加工技术，其中激光加工又分为很多不同的加工方式，如激光全切、激光划线、激光隐切以及激光诱导背面干法刻蚀等，通过对不同的激光加工方式进行介绍并分析其技术原理。

最后通过对这些激光加工技术的实际应用进行介绍，并对未来激光应用于硬脆材料的前景进行展望。

广东工业大学机电工程学院激光微纳加工谢小柱团队对激光于硬脆材料的加工进行综述，首先对硬脆材料在生活中的实际应用进行分析，讨论了硬脆材料的不同加工技术，随后介绍了不同激光加工技术和原理，最后介绍了这些技术的实际应用，并对激光加工硬脆材料的未来发展进行展望分析。相关工作以题为 “Laser machining of transparent brittle materials: from machining strategies to applications”发表在英文期刊Opto-Electronic Advances 2019年第1期。

本综述首先通过对硬脆材料由于其优越的物理性能化学稳定性等优点在电子消费、光电仪器设备等领域的广泛应用介绍，阐述了硬脆材料在生活中的重要地位。

随后介绍了不同加工硬脆材料的方法，如传统机械加工和化学刻蚀等加工方法的缺点，引入了激光加工这一高效便捷的加工技术，介绍了激光加工技术中不同的加工方法的原理，如激光划线、激光隐切、激光全切等。

最后介绍激光加工技术的实际工业应用，并对未来激光加工技术和硬脆材料的发展进行了展望。

图片解读

图1. 不同激光加工技术原理介绍

图2. 激光诱导背向湿法刻蚀技术

图3. 激光背向湿法刻蚀技术不同工艺参数下机理分析

图4. 激光微结构加工和实际切割成形样品

论文原文：Xie X, Zhou C, Wei X, et al. Laser machining of transparent brittle materials: from machining strategies to applications[J]. Opto-Electronic Advances, 2019, 2(1): 180017-1-180017-13.

论文链接： doi: 10.29026/oea.2019.180017

转自：广工激光实验室

第一作者：谢小柱

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