文/Yuji Imamiya，Satoru Akama，Yoshihito Fujita，Haruhiko Niitani；三菱重工

近年来，随着电子产品越来越小，包括电子部件和印刷电路板在内的这类装置中使用的各种部件，也已经小型化并且越来越复杂。因此，对包括钻孔在内的超精密加工的进一步小型化和提高质量的需求，正不断增长。作为满足这种需求的一种手段，利用短脉冲、短波长激光的加工方法已经引起关注。使用诸如皮秒脉冲激光的短脉冲激光器，能够实现没有热效应的冷烧蚀，从而获得质量优异的高精度加工。

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