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Interview 访谈

对话通快高层，

畅谈行业发展及背后的精彩故事

编者按：在2017年慕尼黑LASER World of PHOTONICS 2017展会上，《Laser Focus World》
（LFW）杂志编辑Conard Holton和Andreas Thoss有幸与德国通快集团副主席Peter Leibinger和
通快激光部总裁Christian Schmitz进行了一场近距离采访。通快的两位企业高管分享了他们对
激光技术的过去、现在和未来的热情和想法。这是激光行业内很难得的一次深入且鼓舞人心
的对话，分享了激光行业发展过程中的很多精彩故事，其中更是闪耀着诸多独特的见解。

文/Conard Holton, Andreas Thoss

LFW ：近年来，最吸引您的激光创新是什么？ 对于我个人来说，EUV 项目也让我加强了一个根本
Leibinger ： 当然是极紫外（EUV）！ EUV 是罕见的 信念 ：没有合作伙伴，你什么都做不了。我们处于一个
“从想法的讨论、到实验阶段和原型阶段、再到正在制造 独特的领域——激光行业。这个行业一方面充满了高度竞
的最终产品都对世界产生影响”的案例之一。 “用平均功 争，而另一方面又需要高度协作。这种合作促使了激光行
率为 30kW 或 35kW 的 CO 2 脉冲激光加热锡滴生成 EUV 业的快速增长和创新。增长来自于竞争，而创新则源于合
光，并在晶圆上投影，以雕刻出线宽仅为几个原子尺寸的 作。没有合作，我们将无法进行我们正在做的事情，通过
电路。”这些纯粹的科学挑战正是 EUV 的魅力所在。 EUV 项目，我们更加深刻地体会到了合作的重要性。
除了技术的纯粹魅力和科学挑战之外，EUV 技术吸引 Schmitz ： 对于我来说，最吸引我的无疑是碟片激光
我的另一方面是它对世界的影响。如果我们的 EUV 项目失 器。在我们开始研发碟片激光器的时候，我们认为可能这
败了，摩尔定律则会失效。当然，世界并不完全依赖于通 个项目就是使用半导体激光来做固体激光的泵浦源，从而
快，但是可以说如果没有通快，芯片行业就无法做到这一点。 生产出更高效的固体激光器。然而，我们并未想到其应用
当然，EUV 的影响范围不仅仅是芯片行业，智能手机行业 范围会那么广。
和整个电子设备行业也将不得不改变其运作方式。
LFW ：Leibinger 博士，听说您的父亲在 20 世纪 70 年代
早期游历美国时拜访了一家公司，并购买了一台 CO 2 激光
器，据说在当时这台激光器的价格比一辆豪华轿车还昂贵。
Leibinger ： 是的，那是一台被称为 Gravestone 的 CO 2
激光器，建在一块花岗岩板条上，来自 Photon Sources 公
司（现在是 Novanta 的一部分）。

LFW ：您本人是否有过类似的传奇经历呢？

Leibinger ： 我本人也曾有过两次类似的经历吧。第
一个是激光二极管。记得是在 2000 年，我意识到激光二
极管将是激光行业未来的基石，特别是在高功率激光领域。
那时候我在美国，正逢电信和互联网行业的繁
用于极紫外（EUV）应用的TruFlow激光放大器，是使用13nm光源的下一代
EUV光刻系统的一个重要组成部分。 荣发展。通快美国公司位于新泽西州的卢布姆菲尔德

30 Nov/ Dec 2017 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界