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Photonics Products 光子学产品

“在各个定位器中使用我们的粘滑式
压电电机技术和高分辨率编码器，它
可实现 1nm/1μrad 的分辨率，行程
范围为数十毫米 / 度。得益于紧凑的
尺寸，它能够使用爬山算法执行自动
对准操作，或在空间受限的环境中扫
描多个方向。此外，选择旋转中心、
并将其放置在例如光纤或准直透镜的
尖端的灵活性，是光电子应用的重要
特征，此类应用需要在最短的时间内
实现发射器和探测器之间的最佳多维
对准。”
Miguel 说，SmarPod 110.45 是
SmarAct 许多微装配站的主力。例如，
图3：Symétrie公司的ZONDA六足位移台集成了不胀钢材料和线性绝对编码器，因而具有很高的热稳定
该公司的快轴准直（FAC）透镜对准
性。通常用于校准空间光学仪器；图为在OHB Systems AG公司的应用。
站，将其与夹具结合使用，从托盘中
的反射镜或样品。” 器，将用户发出的顶板目标位置转 拾取 FAC 透镜并将其呈现在激光巴
换为计算机计算的并联运动，并传 条前面。然后，SmarPod 主动在六自
并联运动 输到六个线性定位器的各个位置。提 由度上对准透镜，优化对准指标（例
德国 SmarAct 公司生产一款具有 供 LabVIEW 和 C++ 驱动程序，以及 如近场和远场光束轮廓和强度、准
并联运动排布定位器的类六足平台， SmarAct 公司自己的控制图形用户界 直等），直到它们达到最佳状态。使
该平台在三个 x-y 工作台中具有六个 面（GUI）。 用 UV 固化胶和 UV 二极管将透镜固
线性平台。该公司 CEO Jorge Miguel 在圆柱对称的 SmarPod 中，六 定到激光巴条上，确保固化过程不影
解释说，在每个 x-y 工作台上方，倾 个线性平台由三个围绕系统轴、间 响对准。“这个系统可以与辅助取放
斜的被动导轨连接到运动球头，该球 隔 120°对称排列的 x-y 平台组成。 装置和夹具结合，形成完整的微装配
头又固定在 SmarPod 的顶板上。每 SmarPod 110.45 的典型行程范围为 生产线，只需要最少的操作人员监
个工作台 x-y 坐标位置的变化，导致 ±10mm（x-y）、±5mm（z）、±10°（θ x 督，”Miguel 说。
每个球头的位置在 x-y-z 坐标中移动， 和 θ y ）和 ±20°（θ z ），取决于不同的
从而改变顶板的线性和角度坐标。 型号。并联 SmarPod 包含并联排列 混合六足位移台
选项包括非磁性材料、高真空 的较长线性平台（三个沿 x 轴，三个 美国 ALIO 公司从 18 年前开始
-6
-11
（10 mbar）和超高真空（10 mbar） 沿 y 轴），成对耦合以定位相应的球 生产传统的由压电马达驱动的六足
兼容性。各个线性平台的分辨率和可 头。这使得系统增加 x 和 y 两轴的线 位移台。从那时起，大约五年前，
重复性指标（1nm 分辨率，±25nm 性行程范围。SmarPod P-SLL 设计用 ALIO 公司设计并制造了所谓的混合
可重复性）分别转换为全局 1nm 和 于非常长的行程范围，x 轴行程长达 式六足位移台（HH），该公司创始人
1μrad 的线性和角分辨率，以及顶板 1200mm，三个 x 轴致动器是单个轨 兼首席执行官 C. William Hennessey
位置的 ±200nm 双向可重复性。其 道上的滑块。Miguel 说，这对并联排 表示，该位移台拥有多项专利。在
他指标包括 20mm/s 的最大速度， 布的多步操作尤其有用。 HH 中，线性电机三脚架安装在纳米
5~10N 的典型负载能力，以及不同方 “SmarPod 110.45 是一款紧凑型 精度的线性 x-y 运动系统上，用于五
向（颠倒、可变）的能力。 多功能六自由度运动平台，特别适用 轴运动，或者通过添加旋转台提供完
SmarPod 的 MCS 或 MCS2 控制 于光学和光子学应用。”Miguel 指出， 整的六轴运动（见图 4）。该设计的行

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