先进封装技术已在封装设备内部机械结构方面引发了新的工艺瓶颈。随着对准公差从微米级压缩至数十纳米级,运动平台不再仅仅是后台的自动化装置,而是变成了决定良率的关键基础设施。那些曾经远低于封装工艺敏感度、因此被忽略的变量——振动、热漂移、机械柔性、编码器延迟——如今直接表现为键合缺陷、层间对准偏差或通孔不一致等问题。
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