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用于掩膜刻写与检测的2kHz IndyStar准分子激光器
材料来源：Coherent           录入时间：2010-7-23 11:36:19

 

相干公司2kHz高重复频率IndyStar准分子激光器是半导体工业中超高精度的193nm和248nm照明光源。IndyStar准分子激光器的2kHz重复频率及其高稳定性，在基于紫外激光生产和质量检测的光掩膜中起到至关重要的作用，可获得更小的微芯片结构。

更多信息请登录: www.coherent.com.cn

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