Page 48 - LFWC_MayJun_2019_eMag

在大范围内获得微

米级的扫描精度

UV激光技术配合基于扫描振镜的高速光束转向系
统将会带来激光微加工应用的革命性改变。透过
短焦距镜头，UV激光可以实现微米级尺寸的聚焦
光点，而高速和高加速度的扫描振镜可以实现材
料表面的多重快速扫描。要充分发挥这种性能要
求扫描振镜在工作点处具有微米级的精度。
Aerotech的AGV-HP系列扫描振镜是第一款真正
意义上商业应用的能够实现大范围微米级扫描
精度的扫描振镜，而且搭配Aerotech的无限视
场(IFOV)技术能够进一步扩展工作区域。请登录
Aerotech官方网站获取整个AGV产品线的最新产
品信息。

XY向量和的2D误差
1.4
1.2
2
1
1.8
1.6
1.4
0.8
精度误差 1.2 1
0.8
0.6
0.6
0.4
0.2
0.4
0
20 20
12 12
4 4 0.2
-4 -4
y位置[mm] -12 -12 x位置[mm]
-20 -20
0
使用标定过的AGV-14HP和100mm光圈F-Theta
镜头对镀有薄膜涂层的玻璃表面进行打标后测量
其中心基准点得到的2D误差曲线

www.aerotech.com • +86 (21) 5508 6731

AF10319A-LPM-ZH-CN

AF0319A-LPM-ZH-CN-AGV-HP-203x273.indd 1 4/8/2019 9:41:56 AM