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Interview 访谈

立足自身特色，全面打造中国激光芯

——访长光华芯首席技术官兼常务副总王俊

致力于打造中国激光芯 这个问题 ：一方面是依托自身完整
“随着激光行业的发展，国内对于高功率半导体激光 的工艺平台，研究外延组成分布、
芯片有着巨大需求。但这一核心领域却长期被国外的顶尖 氧化温度场、气流场等工艺参数对
公司垄断，并且有着严格的出口控制。”长光华芯首席技 氧化孔径的影响，从而提高氧化
术官兼常务副总王俊在接受采访时表示，“长光华芯选择 的均匀性 ；另一方面，公司也购
做芯片的目标就是打破这个格局，为国内用户提供性能优 买了业内知名厂家的氧化炉设备，
异且质量可靠的国产‘芯’。”。长光华芯的使命和经营目 来进一步解决量产需求下的氧化
的就是中国激光芯，光耀美好生活。 工艺的精确控制。”王俊说道。
长光华芯首席技术官兼常务
在高功率半导体激光器的研制和生产方面，国产半 在量产上，长光华芯已经建 副总王俊
导体激光芯片的功率和寿命与国外先进水平有较大差距的 成外延、流片、测试、封装等完
主要原因在于外延生长技术、腔面钝化技术以及器件制 整的工艺环节产线，3 寸和 6 寸产线都已建立完成，保证
作工艺水平的不足。因此，长光华芯的首要目标就是攻克 了 VCSEL 的批量供货能力和安全。
这几个挑战，在外延结构设计方面，采用非对称超大光腔 目前 VCSEL 主要应用于光通信和消费类 3D 传感领
波导结构设计，降低内部损耗，提高效率、功率与亮度 ； 域，其中 3D 传感应用越来越多，包括人脸识别、自动驾
在腔面膜处理方面，采用腔面钝化处理技术和窗口结构， 驶、智能安防、AR/VR 等领域都很有应用前景。这是由
有效降低腔面表面复合和腔面温度，提高芯片腔面灾变 于 VCSEL 在技术和成本上有明显优势，如相比于 LED，
（COMD）水平。 VCSEL 具有更高的光电转换效率，更易调整发散角度 ；
目前长光华芯已经累计销售激光芯片 400 万片，是全 相比于 EEL（边发射），VCSEL 的阵列线宽较窄且波长对
球少数几家能够研发并量产高功率半导体激光器芯片的公 温度漂移较小，尺寸紧凑，可靠性也更高。这些特点非常
司之一。 适合于手机等的小型移动设备。而在成本和批量生产上，
VCSEL 更具优势，相较于 EEL（边发射），如 VCSEL 在
发力VCSEL芯片 点测环节可以进行晶圆级别的测量。未来，在获取物体或
随着苹果以及各大手机制造商在手机中增加 3D 传感 场景的深度信息应用中，VCSEL 的应用会越来越广。
功能，引爆了市场对 VCSEL 的需求，长光华芯自然不会
放过这个巨大的市场。 立足自身特色，横向纵向共同发展
王俊介绍说，VCSEL 的生产工艺与长光华芯已有的 虽然在激光芯片的研究与制造方面，长光华芯相比于
高功率半导体芯片（边发射半导体激光器 /EEL）的生产 国外厂商起步晚，在技术积累方面也存在差距。但是长光
工艺（特别是外延）是兼容的，而且 VCSEL 更容易量 华芯拥有从芯片设计、MOCVD（外延）、光刻、解理 / 镀
产，因此在相似生产工艺和平台的基础上，长光华芯的 膜、封装测试、光纤耦合、直接半导体激光系统等完整的
VCSEL 研发进展迅速。 工艺平台和量产线，而这些工艺流程在国外的分工会比较
除了外延，还需要精确地控制氧化速度，使 VCSEL 细，很少有这么完整的工艺平台在同一家公司出现。
谐振腔体保持良好的一致性。这对实现 VCSEL 阵列精确 “长光华芯的平台比较全面，垂直集成度很高，我们
的光电特性至关重要，长光华芯在氧化工艺研发过程中遇 的发展战略是‘一平台，一支点，横向扩展，纵向延伸’。”
到了氧化片内不均匀的问题。“我们主要从两方面来解决 王俊说，“依托现有的高功率半导体激光芯片支点，横向

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