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封面故事 Cover Story

设置的一个例子，是测量不同激光波长 对于每片晶圆
和输入偏振态下的光电二极管的响应 将 FOUP 上的晶圆装载 / 交换到
度、插入损耗和功率耦合效率（见图 1）。 卡盘上
在另一种配置中，光 - 电 - 光（O- 通过视觉系统对准晶圆
E-O）定位器设置是高度定向的 ：东 对于每个 die
/ 西向的光学定位器用于光学 I/O，南 对于每个 subdie 结构
向的 DC 用于偏压，而北向的 RF 用 将晶圆卡头步进到 subdie
于调制（见图 2）。所有探测头都安装 移动定位器到 subdie I/O 图2：硅光子组件实的时定位和探测。
在电动定位器上，用于在具有不同探 将卡盘移动到与电探测接触 个自由度（用于平移和旋转）的高精
测布局的 subdie 区域之间自动索引。 将光学探测与器件对准 度对准，以优化对给定器件的光学功
执行器件测量 率耦合。
对准方法 下一片 subdie 非接触式光学耦合优化，对于最
工程探测系统将程序员的接口提 下一片 die 小化“由于对准误差的灵敏度而导致
供给最终用户的测试执行程序，该程序 下一片晶圆 的”插入损耗是至关重要的。这种对
执行测量的主控制逻辑。探测器的编程 上述序列中的所有步骤都是探测 插入损耗的贡献不仅是待测器件的特
界面使主工作流程能够根据应用的特定 行业的典型和标准步骤，除了“将光 性，而且涉及整个测量装置的特性，
需求进行定制。通常，SiPh 测量应用 学探测与器件对准”的关键步骤是新 包括探测台和定位硬件。使损耗最小
的工作流程包括主级别的以下逻辑 ： 的。在光学对准步骤中，需要具有六 化、并且执行成功的高度可重复测量

AMTS 2019即将启幕，激光工程专区亮点频现

7 月 3-6 日，由励进展览（上海）有限公司主办的 数控技术、焊缝跟踪、在线检测、自动化等学科于一体的
AMTS 2019（第十五届上海国际汽车制造技术与装备及材 全自动化高新技术产品，主要应用在汽车覆盖件激光远程
料展览会）将在上海新国际博览中心再度登场。届时预计 焊、激光拼焊，汽车传动件及钣金件激光自熔焊、激光填
将有来自世界各地 800 家展商参展在 8 个展馆（W1-W5, 丝焊，汽车车架激光电弧复合焊。该方案具备智能化制造
E1-E3）联袂展示，吸引 80,000 位专业观众到场参观。 接口，可与工厂 MES 系统连接。
其中，激光工程专区将在 W4 馆精彩献礼，包括通快、 相干（展位号 W4-G10）CleanWeld 净焊技术是一套
大族、亚威创科源、天田米亚基、联赢激光、天弘激光、 适用于光纤激光器焊接的综合方案，大大提高了光纤激光
普雷茨特、高能激光、阿帕奇、相干、奔腾楚天、中科煜 器的实用性，还能减少 80% 的飞溅，并极大程度地避免
宸等中外知名厂商都将悉数亮相，围绕焊装、轻量化、新 出现裂纹，同时降低孔隙率。在改善加工一致性的同时，
能源汽车制造等热点展示解决方案。 CleanWeld 在某些焊接工艺中，所使用的激光功率较往常
立足智造，科技赋能，他们始终都在用新技术拥抱行 下降了 40%。可应用于焊接动力系统部件、镀锌钢板、“发
业未来。 卡式”电机定子和电动汽车电池盖，以及焊接铝制挂件等。
通快（展位号 W4-J10）将展出新一代激光系统 普雷茨特（展位号 W4-E08）将首发 IDM 实时熔深
TruLaser Cell 7040 L58-L59 用于车身制造，该系统为二维 测量系统 -KeyholeFinder。通过集成在内部的闭环控制系
或三维组件、管道或型材的加工提供了完美的条件。灵活 统，实时测量焊接过程中的熔深值，保持焊缝熔深的一
多样的功能配置满足项目初期产品原型研发设计抑或是大 致 ；升级的 KeyHoleFinder 功能自动将测量光点精确调整到
批量加工。激光切割、焊接、熔覆等一机多用，快速切换。 keyhole 位置，且偏差需小于 50μm，大大提高测量的准确性。
大族智能装备（展位号 W4-F01）提供的汽车车身及 更多精彩，等你来探 AMTS 2019，www.shanghaiamts.
零部件激光焊接解决方案是集激光焊接、汽车零部件装焊、 com/visitor。

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