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应用天地 Applications
的飞秒激光器（这是通过使用掺镱 激光切割，用原子力显微镜测量的
光纤而非传统的钛蓝宝石作为增益 切割表面粗糙度 <350nm，边缘颗
介质来实现的）。 粒尺寸小于 4μm。
相干公司的 Monaco 就是新一
代工业飞秒激光器的一个代表，它 小结
能提供高达 60W 的平均功率，预 综上所述，当今更为复杂和
计很快就会提升到更高功率。此 苛刻的玻璃切割应用，需要改进
外，操作人员还可以通过软件调节 古老的切割技术。在许多情况下，
Monaco 的输出脉宽，调节范围从 激光切割已被证明能够提供满足
~350fs~10ps，从而使其输出能够 图4：SmartCleave切割混合材料的边缘视图。从图中可以 当下切割要求的诸多特性。然而，
看到，在厚度为0.5mm的玻璃上有一层厚度20µm的聚酰亚
针对不同的成丝切割环境、以及其 胺涂层。图中给出了使用平均功率为40W、脉宽约350fs的 激光玻璃切割实际上是一个涵盖
Monaco飞秒激光器切割效果。用原子力显微镜测量，切割
他材料切割和纹理加工过程进行优 多种不同技术的广泛领域，每一
面的表面粗糙度<350nm。
化。而且，对于成丝切割至关重要 种技术都有其独特的特征和优势。
的是，Monaco SmartCleave 支持 burst 一次完成切割，并且具有卓越的边缘 相干公司几乎能提供所有用于玻璃
操作模式。 质量，几乎没有残余的边缘应力和热 切割的激光器（飞秒、皮秒、纳秒、
相干应用实验室的工程师已经证 影响区。图 4 中显示了厚度为 0.5mm CO 2 和 CO 激光器），并且能够为几
明，通过仔细的工艺优化，具有两种 的玻璃上涂有一层厚度 20μm 的聚酰 乎所有应用提供最佳的成套系统或
或两种以上不同材料的多层基板可以 亚胺，使用平均功率为 40W 的飞秒 独立的激光器。
激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn May/ Jun 2019 19
