Page 19 - LFWC_MayJun2017_eMag

应用天地 Applications

凑型高功率工业皮秒混合光纤激光器 全干制程等优势。
IceFyre，堪称是一款改变游戏规则的 德龙激光自主研发的皮秒激光应
产品——集高功率、短皮秒脉冲以及 力诱导加工设备，在蓝宝石和玻璃等
前所未有的通用性、重于一身复频率 材料的切割方面，收获了成功，相比
可调、可编程的皮秒脉宽灵活性和脉 于传统的机械切割，在切割效率、切
冲按需触发等诸多功能及成本优势于 割成本上、材料损耗、产品产出和产
一身。IceFyre 在 1064nm 波长处提供 品性能方面都有稳步提升。
图3：德龙激光的皮秒激光应力诱导加工设备，在
蓝宝石切割过程中累积的光强的分布。（图片来 > 50W 的平均功率和高达 > 200µJ 的 （四）亚智科技的 M-Cut 切割工艺
源：德龙激光）
脉冲能量，可调节的重复频率范围从 M-Cut 是亚智科技开发出的一种
片玻璃的钻孔，如用于手机屏中的强 单发脉冲到 8MHz，加之灵活的脉冲 改性切割工艺，其以类似穿孔的方式
化玻璃。 编程能力，是精密加工蓝宝石、玻璃、 修改材料基板。M-Cut 工艺的光源中
汉诺威激光中心新开发的玻璃 陶瓷、塑料及其他材料的理想光源。 具有特别调整的光学系统，形成改良
钻孔工艺，比水射流方式更具成本效 IceFyre 在性能、成本、尺寸和 的光束源，能够纵向聚焦形成线性的
益，并且还能加工厚度 4mm 的玻璃。 可靠性方面的表现，是否如其所愿能 切割痕迹。这种切割工艺产生的切割
汉诺威激光中心在玻璃加工方面的创 够改变工业微加工激光器市场的游戏 界面的粗糙度低于 0.5µm，可免去对
新，将为消费电子等产品提供有价值 规则？我们拭目以待。 切割边缘的昂贵研磨抛光工作。
的推动力。 （三）德龙激光的激光应力诱导 M-Cut 适用于切割各种强化玻璃
（二）万机仪器的皮秒混合光纤 切割技术 及蓝宝石等脆性材料，切割 0.5mm
激光器IceFyre将改变行业游戏规则？ 国内厂商德龙激光，凭借着其自 厚的玻璃时，切割速度可达 1m/s ；不
在玻璃 / 蓝宝石加工方面，万机 主研发的激光应力诱导切割技术，在 会产生崩边、破裂，切割边缘粗糙度
仪器（MKS Instruments）旗下的光谱 非金属精密加工方面也有着不错的表 值低于 0.5µm，不需要抛光。此外还
物理业务部门（Spectra-Physics）在 现，几年前其 LED 芯片划片机曾在 能提高切割后玻璃的抗裂度。M-Cut
这方面实力不俗。早在 2015 年 12 月， 国内市场占据大量份额。最近几年， 工艺可以切割不同几何形状的工件，
光谱物理就针对化学强化玻璃、非强 智能手机等消费电子产品的发展，驱 甚至能以 90°角切割转角，是一把灵
化玻璃和蓝宝石的快速高质量切割应 动蓝宝石和强化玻璃加工市场走俏， 活的激光刀。
用，推出了 ClearShape 飞秒激光器， 德龙激光的业务领域也随之拓展。 （五）罗芬的 SmartCleave FI 切
其能够达到 1m/s 的切割速度，并且 在对德龙激光总经理赵裕兴博 割工艺
切割边缘无毛边碎屑，边缘粗糙度 士的一次采访中，赵博士详细介绍了 罗芬针对
Ra <0.1µm。 激光应力诱导切割技术。它将短脉冲 蓝宝 石和 陶瓷
在今年 2 月的 Photonics West 展 激光光束透过材料表面聚焦在材料中 等脆 性材 料加
会上，Spectra-Physics 首次亮相的紧 间，短脉冲激光极高的瞬时能量，在 工，除了其使
材料中间形成改 用脉 冲光 纤激
质层，从而使被 光器 的熔 融切
切产品达到断裂 割技术之外， 其
效果。这是一种 SmartCleave FI
全新的激光切割 激光切割工艺， 图5：罗芬SmartCleave FI
激光加工工艺实现的薄片
工艺，具有速度 自从 2014 年推 玻璃切割与钻孔。（图片
快、不产生粉尘、 出以来，已经 来源：罗芬激光）
无基材耗损、所 在工业生产和一些利基市场中获得了
图4：亚智科技的M-Cut激光切割工艺，基底材料能被线性地“穿透”。（图片
来源：亚智科技） 需切割道小、完 成功应用。这种切割工艺，能在加工
下转第43页

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn May/ Jun 2017 17