Page 52 - LFWC_MarApr2018_eMag
P. 52

无与能比的定位性能
































                                                                   在XY平面Z方向的三维矢量精度误差为0 毫米


























                      ™
        HexGen 是Aerotech的Hexapod(六自由度定位平台)系列产品
        最新一代的六自由度定位系统


                ™
         HexGen 六自由度定位平台是具有大负载、高速度和超高定
         位精度需求的理想选择。HEX500-350HL具备无与能比的定
         位精度(直线定位精度是 (±0.5 µm,角度定位精度是
         ±2.5 µrad)和定位分辨率(直线轴分辨率是20nm,角度分
         辨率是0.2 µrad)。简而言之,HexGen 系列是六自由度定
                                         ™
         位平台市场上最好性能的产品。
         请联系Aerotech的应用工程师,或者登陆我们的官方网站获
         取更多的信息,了解Aerotech的六自由度定位平台是如何提
         高您定位应用的。



                                                                      www.aerotech.com • +86 (21) 6126 1058


                                                                                                            AF0417A-LPM


   AF0118A-RAD-ZH-CN-Hexapod-203x273.indd   1                                                          2/9/2018   11:33:14 AM
   47   48   49   50   51   52