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无与能比的定位性能
在XY平面Z方向的三维矢量精度误差为0 毫米
™
HexGen 是Aerotech的Hexapod(六自由度定位平台)系列产品
最新一代的六自由度定位系统
™
HexGen 六自由度定位平台是具有大负载、高速度和超高定
位精度需求的理想选择。HEX500-350HL具备无与能比的定
位精度(直线定位精度是 (±0.5 µm,角度定位精度是
±2.5 µrad)和定位分辨率(直线轴分辨率是20nm,角度分
辨率是0.2 µrad)。简而言之,HexGen 系列是六自由度定
™
位平台市场上最好性能的产品。
请联系Aerotech的应用工程师,或者登陆我们的官方网站获
取更多的信息,了解Aerotech的六自由度定位平台是如何提
高您定位应用的。
www.aerotech.com • +86 (21) 6126 1058
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AF0118A-RAD-ZH-CN-Hexapod-203x273.indd 1 2/9/2018 11:33:14 AM

