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AEROTECH 纳米级定位科技
直线定位平台 • 旋转定位平台 • 垂直举升与Z轴平台 • 测角仪
Aerotech生产之直线
奈米定位系统提供:
• 1 nm 分辨率
• <1 nm 定位稳定性
• ±75 nm 重复定位精度
• ±250 nm 定位精度
• 最高至160 mm 之行程
Aerotech生产之旋转
奈米定位系统提供:
• 0.01 arc-second 分辨率
• 0.005 arc-second 定位稳定性
• 1.5 arc-second 重复定位精度
• 3 arc-second 定位精度
• 360° 连续旋转运动或有限行程旋转运动
www.aerotech.com • +86 (21) 5508 6731
AF0119B-RAD
AF0119B-RAD-ZH-CN-Nanopositioners-203x273.indd 1 6/5/2019 1:40:47 PM

