Page 40 - LFWC_NovDec2018_eMag
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Aerotech 纳米级定位科技
直线定位平台 • 旋转定位平台 • 垂直举升与Z轴平台 • 测角仪
ANT130-L-Z
ANT95-L-Z 免费索取Aerotech
纳米科技产品相关
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ANT-20G ANT95-L
aerotech.com
11
10
ANT95-R 9
8
ANT130-5-V 7 6
位置 (nm) Position (nm) 5 4
2 3
1
0
ANT95-XY 1 0 5 10 15 20 25 30
时间 (s)
Time (s)
ANT95-L 1 纳米步阶图
定位精度 (µm)
ANT95-3-V ANT130-R
位置 (mm) 位置 (mm)
ANT130-L ANT130-XY ANT130-XY-ULTRA 2D定位精度测试图面
位置 (nm) 位置(arc sec)
Aerotech之奈米定位平台系列提供纳米等级之线
性定位精度与次弧秒之角度定位精度， 可符合现
今最高规格之研究，开发，与生产之需求。 时间 (s)
Aerotech生产之直线 Aerotech生产之旋转 ANT95-R 0.01 arc-sec步阶图
奈米定位系统提供: 奈米定位系统提供:
• 1 nm 分辨率 • 0.01 arc-second 分辨率 3
• <1 nm 定位稳定性 • 0.005 arc-second 定位稳定性 Accuracy Error (µm) 定位精度 (µm) 2 1 0
• ±75 nm 重复定位精度 • 1.5 arc-second 重复定位精度 -1 -2
• ±250 nm 定位精度 • 3 arc-second 定位精度 80 -3 40 0 0 40 80
• 最高至160 mm 之行程 • 360° 连续旋转运动或有限行程旋转运动 位置 (mm) -40 -80 -80 -40 位置 (mm)
Position (mm)
Position (mm)
ANT95-XY-ULTRA 2D定位精度测试图面
Ph: +86 (21) 6126 1058 • Email: sales@aerotech.com • www.aerotech.com
WORLD HEADQUARTERS: USA Dedicated to the
THE AMERICAS • EUROPE & MIDDLE EAST • ASIA-PACIFIC Science of Motion
AF0216B-RAD-ZH-CN
AF0816A-RAD-ZH-CN-Nanopositioners-188x255.indd 1 12/11/2017 2:56:22 PM
