龙门架是一种机械结构类型，它将两个物理轴耦合在一起，并使其在同一方向上运动。其广泛应用于激光微加工、平板显示器制造、PCB 板印刷、点胶和打孔、 晶圆检验计量、薄膜测量、激光直写、晶圆级封装以及 Micro-LED 巨量转移等领 域。本文介绍了 AEROTECH 公司 AUTOMATION1 控制器的龙门解耦和电流命 令耦合控制原理，展示其在控制气浮刚性龙门平台时的静态位置抖动和动态性能 等指示，并介绍如何利用 AEROTECH 公司 AUTOMATION 1 Studio 的调谐工 具来测量和优化轴的频率响应，增强位置跟踪控制算法（ETC）如何提运动系统在动态跟随误差以及移动 & 稳态时间等方面的性能。