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| 超快激光直写在玻璃微加工中的应用
谭德志 - 之江实验室 - 研究员/PI
主要研究方向：超快激光制造、光电材料与器件。以第一 / 通讯作者在 Science、Light Sci. Appl.、Adv. Photonics 等期刊发表论文 30余篇。成果在 Science 封面及亮点板块被重点介绍，被 Phys.org、中国科学报、科技日报等国内外知名学术媒体专题报道。担任 Science合作期刊 Ultrafast Science、中国激光杂志社、《硅酸盐通报》等的青年编委。主持国家基金委基金、科技部重点研发计划项目子课题并负责了多项企业委托研发项目等。
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演讲摘要： 玻璃是一种广泛使用的工业材料。通过超快激光直写技术，能在玻璃内加工出各种特征结构，它们在当下发展火热的micro-LED、3D显示以及光存储、光互连和光计算方面，有着广泛的应用潜力。 |
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| 运动控制在激光微加工中的应用
谢香林 - 艾罗德克运动控制技术(上海)有限公司
高级销售工程师
谢香林，Aerotech 中国资深销售工程师，业务范围涵盖激光、医疗、电子、精密制造、数据存储等行业方向。从事激光微加工行业 12 年，具有深厚的精密激光微加工领域技术工艺、系统集成、设备开发的经验及技术积累。愿同大家一起分享和探讨激光微加工领域遇到的控制方面及工艺方面的技术及问题。
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演讲摘要： 作为业内领先的运动控制品牌，Aerotech 始终专注于精密运动科学 (Dedicated to Science of Motion)。我们提供的高性能运动控制器及精密运动平台，广泛应用于各个行业。本次演讲将结合激光微加工应用介绍 Aerotech 控制器及相关机电产品使用案例及特点，简要介绍 Aaerotech 新的运动控制平台 Automation1 控制系统。 |
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| 飞秒激光用于玻璃、碳化硅半导体等非金属材料的微纳焊接
程光华 - 西北工业大学 - 教授
曾任中国科学院西安光学精密机械研究所、现任西北工业大学教授、
法国国家科学研究中心休伯特居里实验室客座教授；获陕西省青年
科技新星称号，获陕西科学技术一等奖两项；加拿大自然科学与工
程基金通讯评议人、科技部“增材制造与激光制造”重点专项项目评
审专家、国家自然科学基金评审专家、科技部重点研发计划项目评审
专 家；《中 国 光 学》编 委、《International Journal of Extreme
Manufacturing （IJEM）》青 年 编 委、Co-chair of International
Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2016)；
主要从事超短脉冲激光技术，激光与物质介质相互作用机理和应用
研究。承担了科技部国家重大仪器开发专项、国家基金仪器专项、国
家基金重点项目、科技部国家重点研发计划等课题多项。发表学术论
文二百余篇，授权国家发明专利二十余项。
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演讲摘要： 超快贝塞尔光束的特征是能在透明介质内实现精度高达几十纳米的维纳级加工。
这一特性能成功实现玻璃焊接、石英玻璃与碳化硅半导体之间的焊接、纳米材料焊接、甚至是玻璃与金属之间的精密焊接等尖端应用。 |
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| 持续创新的通快超短脉冲技术
为先进制造提供更多可能
张潮 - 通快(中国)有限公司 - 行业与产品管理主管
张潮先生现任通快（中国）有限公司行业与产品管理主管，主要负责短脉冲及超短脉冲激光器产品管理及电子行业市场开发工作。他在工业脉冲激光领域拥有丰富的经验，在过去的八年中，他所负责的项目涉及先进显示、半导体、3C 电子、汽车电子等行业，推动实现了多项短脉冲及超短脉冲激光技术在高分子薄膜、硬脆材料加工、金属微加工、涂层去除等工业量产中的应用。
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演讲摘要： 近年来，超短脉冲激光技术在先进制造领域迎来了爆发式发展。而随着 5G, VR/AR 显示、柔性显示等新技术的不断成熟，高端精密制造对于材料加工提出了越来越高的要求。通快公司作为工业超快激光技术的全球领导者，持续加大在新型超快激光技术的产品研发与应用研究力度。本次分享中，通快公司将带来最新的深紫外超快激光技术、革命性的可自由传输超快光束的中空光纤、超高功率的飞秒紫外激光技术相关的产品，及相关先进显示、新一代 PCB/FPC 加工、超薄玻璃（UTG）等工业应用分享。 |
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| 硅晶圆软标识工艺的研究
张玲玲 - 上海市激光技术研究所 - 副总工程师
张玲玲，博士，高级工程师，现任上海激光直接物标溯源工程技术研
究中心主任、上海市激光技术研究所副总工程师。有快将近 20 年的
激光器件、激光加工工艺和设备，以及激光光谱医疗检测的研究从业
经历，近年来聚焦于半导体，玻璃等硬脆材料的激光精细加工和加工
过程的实时监测，并先后获得多项发明和实用新型专利，曾在
《Journal of Modern Optics》，中国激光光，SPIE 等期刊发表多篇学
术论文。
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演讲摘要： 直接零件标识（DPM）是一种可助力产品制造流程的转变，实现产品成本、质量、性能改变的一种先进
技术。激光直接物标溯源技术利用先进的激光打标技术，推动二维码和 DPM 技术的进一步融合，保
证产品在整个生命周期均具有可追溯性，大大扩展了 DPM 溯源技术的应用领域。激光标识以其非接
触，高精细等优点，作为一种先进的生产管理和溯源跟踪手段，在半导体电子行业中成为一道不可或
缺的工艺，成为复杂加工流程中实现出众跟踪和控制能力的基础。本次演讲分享上海激光技术研究
所团队基于激光和硅材料的相互作用机理，聚焦于行业规范对标识的洁净度、深度、飞溅、碎屑以及
精细度的严苛要求，探索解决由于硅材料对激光的敏感性，而造成标识外观、一致性，以及标识深度
的控制等一系列问题，形成了符合 SEMI 要求的稳定的、可用于生产的激光软标识硅晶圆的工艺。 |
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