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通过Coherent公司测试,国内电子特气有望摆脱“卡脖子”
材料来源:激光行业观察           录入时间:2021/9/28 22:48:30

“一次性通过了Coherent(相干)公司的测试,是公司电子特气发展的关键一步”,凯美特气董秘张伟9月26日晚接受财联社记者采访时表示,子公司凯美特电子特气生产的激光混配气通过相干公司的测试,将有助于拓展电子特气在飞秒激光手术等多个激光器领域的应用。由于激光器也是光刻机的重要组件,此次测试也为未来在芯片加工等领域的应用迎来了关键一步。

9月26日凯美特气公告,称电子特气公司生产的用于ExciStar 激光器的193nm激光混配气已在Coherent(相干)德国公司设备上经过了测试,并于 2021年9月 24日收到 Coherent(相干)公司发来的针对以 上激光混配气产品通过其测试结果的确认函。

据了解,成立50余年的Coherent(相干)公司,是一家为科学、商业和工业客户提供激光和基于激光技术的全球供应商,提供从激光测量和控制产品到精密光学和激光系统的产品,产品服务于科研、 医疗、工业加工等多个行业。

张伟介绍,通过Coherent(相干)公司的适配性测试,是电子特气在全球激光应用领域的“一道关”。公司产品一次性获得通过,证明了公司准分子激光气体的产品质量以及在电子特种气体领域的钢瓶内壁处理技术的能力,含氟 ppm 级别多组分气体混配以及气体分析等综合实力已达到国际一流水平。

准分子激光气体可广泛应用于医疗、光刻、OLED 显示等行业,对于公司未来批量销售电子特种气体产品具有积极意义。公司还将与相干公司配合进行多批次送检测试,以建立最佳的适配参数。

张伟介绍,此外,由于激光器也是光刻机的关键组件,本次测试获得通过,对公司产品今后在芯片加工等领域的应用也是关键的一环,“如果说通过阿斯麦尔光刻机的认证需要四步,目前接近到了第三步的样子。”

不过,凯美特气昨晚的公告也称,本次产品测试的确认函暂时未对公司营业收入、利润造成影响。认证程序还有多批次测试,目前尚未实际形成产品销售以及协议的签署。

电子特气等工业用气的“卡脖子”问题近年以来得到重视,今年工信部还为此召开专门会议。凯美特气对此重视较早,在2018年成立电子特气公司进行攻关。

(文章转载自网络,如有侵权,请联系删除)


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