产品简介

飞秒微加工系统属于超精细加工设备，主要基于 UpTek公司的Phidia系列飞秒激光系统和Spearay系列激光加工模块组成，并配置了德国Scoroff高端机柜。整个系统结构紧凑，具有工业级高稳定性、高可靠性等特征。飞秒激光系统可 以输出高能量窄脉宽的飞秒 脉冲激光:其脉冲宽度可窄 至120fs到40fs，输出能量可高达0.1mJ到2mJ，从而确保系统可以有效处理几 乎所有种类的材料。

激光加工模块独特的花岗石龙门支架结构设计可以保证系统优良的加工稳定性，所配置运动平台的高移动精度和大行程范围使得系统在大幅面超精细处理领域有着非凡的能力。 

• 超快激光刻蚀
• 触摸屏玻璃和ITO切割
• 表面处理和表面3D结构制作
• 超精细钻孔和切割

超快激光刻蚀

飞秒微加工系统配置大幅面高速扫描振镜可以用来进行超精细雕刻、刻蚀，也可在透明材料内部实现三维高精度内雕。 

高精度划线、切割

飞秒微加工系统可以输出高峰值功率的飞秒脉冲激光，通过选用合适数值孔径的聚焦物镜可以对手机屏玻璃盖板、ITO导电薄膜等材料实现高效、超精细划线和切割。

二维和三维表面微结构的制作

飞秒微加工系统不仅可以用来在材料表面制作二维结构，也可以用来制作三维结构，能够得到的微结构尺寸可达纳米量级。

脆性易碎材料的切割、钻孔

飞秒微加工系统可以对碳化硅、陶瓷以及蓝宝石等脆性易碎材料进行超精细切割、钻孔。通过配置加工头可实现高径深比的微孔制作。

产品参数

激光参数

加工模块参数：

可选加工配件及其典型参数

扫描振镜（适用于激光刻蚀）：

加工头（适用于高精度钻孔）：

高数值孔径物镜（适用于超精细切割划线）：