2019年9月9日，中科合创（北京）科技成果评价中心组织专家，在北京召开了由英诺激光科技股份有限公司完成的“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技术”等三项项目科技成果评价会，MOPA-ns激光器顺利通过评价。

英诺激光股份有限公司成立于2011年，是国家高新技术企业，总部位于深圳市南山区科技园，专注于微加工领域激光器的研发、生产、销售及以激光模组形式为客户提供定制化微加工解决方案。公司是全球少数同时具有纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级微加工激光器核心技术和生产能力的工业激光器生产厂商，是全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一。产品包括DPSS调Q纳秒激光器、超短脉冲（皮秒、飞秒）激光器和MOPA（纳秒/亚纳秒）激光器，涵括从红外到深紫外不同波段、从纳秒到飞秒多种脉宽。

专家组审阅了技术方提供的技术资料，听取了技术研究汇报，经质询、答疑和讨论，形成相关意见。

其中，“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技术”提供的技术资料基本齐全，符合科技成果评价要求；该技术设计并采用主振荡器功率放大（MOPA）结构的光纤激光器，输出线性偏振红外，并转换成绿光、紫外到深紫外波段的纳秒脉冲，光束质量M2小于1.2、脉冲宽度100ps——5ns可调、脉冲重复频率10kHz——2MHz可选、峰值功率大于25kW；该技术在MOPA结构的光纤激光器中使用自主研发的多程光纤放大器，获得了平均功率超过120W的1064nm@1MHz红外光的纳秒输出。在太阳能等领域得到应用；该技术获得多项专利。专家组同意通过科技成果评价，整体技术达到国际先进水平。

AOPICO系列高功率紫外皮秒激光器提供的技术资料基本齐全，符合科技成果评价要求；该技术利用SESAM锁模技术在光纤中产生皮秒脉冲，基于MOPA结构进行放大，然后通过固体放大器以及非线性转换模块，输出紫外波段的高能量皮秒脉冲，光束质量M2小于1.2、脉冲重复频率从单脉冲至1.5MHz、平均功率35W@800kHz；该技术设计并采用了光纤种子源、固态放大技术，兼具了两者技术优势。同时，自主设计了工作频率高于1MHz的高速电路和相关软件，激光器的输出脉冲能量不随工作频率改变而改变。在消费类电子等领域得到应用；该技术申请专利多项。专家组同意通过科技成果评价，整体技术达到国际先进水平。

FORMULA系列高功率紫外纳秒激光器技术项目提供的技术资料基本齐全，符合科技成果评价要求；该技术利用腔内三倍频技术，实现了平均功率高于30W的紫外激光输出，从红外到紫外的能量转换效率接近50%；该技术采用自主设计的激光谐振腔、温度控制技术、以及基于FPGA的高速信号处理，使得激光器具有光束质量M2小于1.2、光斑圆度大于95%，以及脉冲峰值功率稳定性小于2%（rms），12小时平均功率稳定性小于0.5%（rms）。在消费类电子领域得到应用；该技术获得多项专利。专家组同意通过科技成果评价，整体技术达到国际先进水平。